| 基于FPGA的高精度薄膜宽度控制仪设计 |
| 陈帅;谢灯;丘志仁;TIN Chin-che;王洪朝;梅霆; |
| 关键词：3C碳化硅;光谱椭偏仪;拉曼散射;厚度 |
| 主要内容：立方碳化硅(3C-SiC)薄膜通过化学气相沉积(CVD)制备在Si(100)衬底上。本论文主要通过椭偏光谱仪(SE)和拉曼散射仪对3C-SiC薄膜的微观结构和光学性能进行进一步的研究。根据SE的分析获得3CSiC薄膜厚度;根据拉曼散射的分析:可从TO模式和LO模式的线形形状的拟合得到样品的相关长度 |
| 《光散射学报》 2016(2).125-130 |
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