| 基于复合靶溅射制备Mg_2Si薄膜及其热电性能 |
| 唐兵华;马明旺;杜继实;雷杨俊; |
| 关键词：氢化钛薄膜;二维X射线衍射;残余应力 |
| 主要内容：氢化钛(TiH2)的多数X射线衍射(XRD)峰与Mo的衍射峰峰位很接近,采用传统θ-2θ扫描X射线衍射方法很难获得Mo基底上TiH2薄膜的较好的衍射峰形。本文采用XRD分析了Mo基底上TiH2薄膜的残余应力,为获得足够的薄膜衍射信息,通过掠入射二维X射线衍射法消除了薄膜基底衍射信号对薄膜衍? |
| 《原子能科学技术》 2016(8).1498-1503 |
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