| 基于高温制备的氧化钙镁复合薄膜光电特性研究 |
| 陈志坚;李建新;周白杨;温翠莲; |
| 关键词：Mg_2Si薄膜;射频磁控溅射;工艺优化;热电性能 |
| 主要内容：采用射频磁控溅射Mg-Si二元复合靶制备Mg_2Si热电薄膜,研究溅射功率、真空退火温度及退火时间对其性能的影响,探究较优的Mg_2Si薄膜制备工艺。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效应测试仪、薄膜Seebeck系数测量系统对薄膜特性进行测试。由薄膜断面的能谱分析可 |
| 《中国有色金属学报》 2016(6).1214-1221 |
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