| 基于光散射及灰度值作为判据的光学薄膜激光损伤阈值测量系统 |
| 韦海成;李海燕;张秀霞; |
| 关键词:氧化镁;介质保护膜;二次电子发射 |
| 主要内容:采用电子束蒸镀工艺制备氧化钙掺杂氧化镁复合介质保护膜并深入分析了制备温度对该复合保护膜透过率及二次电子发射效率的影响。实验表明,高温制备能够使复合薄膜表面形貌更为致密,结晶粒径增加,薄膜的透过率和发光效率提高。当制备温度为300℃时,复合薄膜的形貌更为致密平整,? |
| 《液晶与显示》 2016(3).265-269 |
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