| 基于光纤光栅传感的化学镀膜过程本征应力监测 |
| 孟令强;王青;张莉萍;齐思璐;王晓烨; |
| 关键词：光学薄膜;激光损伤阈值;光散射;图像处理;灰度值 |
| 主要内容：基于ISO11254国际标准,构建了基于半导体激光光散射检测光学薄膜损伤与否的光学薄膜激光损伤阈值测试系统。运用图像处理以及灰度值作为判断薄膜损伤与否的判据,对TiO2/SiO2增透膜进行了阈值测试。由图像处理可得,当光斑图像有效区域内灰度值最大的前50个像素点的平均灰度值在2 |
| 《光学仪器》 2016(6).534-538 |
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