| 基于机器视觉的多疵点薄膜区分算法研究 |
| 王裕波;李玉龙;王文琴;张华;崔庆波; |
| 关键词：应用光学;应力演变监测方法;在线监测;本征应力;光纤光栅 |
| 主要内容：为了研究化学镀膜过程中本征应力的演变过程,建立了基于光纤光栅传感的本征应力计算模型,提出了一种监测化学镀膜过程本征应力演变的方法.通过记录光纤光栅中心波长的偏移量,结合裸光栅进行补偿,实现了在线监测化学镀膜过程产生的本征应力.使用光纤光栅传感器对化学镀Cu过程中2 |
| 《光子学报》 2016(8).76-80 |
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