| 基于新型TiBCN单相金属陶瓷粉末制备纳米薄膜特性的研究 |
| 付秀华;潘永刚;董军;胡建东;刘冬梅;张静; |
| 关键词：薄膜;TiBCN;热蒸发;陶瓷粉末;微观结构 |
| 主要内容：TiBCN单相陶瓷粉末是一种刚问世的新型材料,该材料具有Na Cl型面心立方(Fcc)结构,兼有陶瓷和金属特性。在真空状态下,当温度为1200℃时,利用热蒸发TiBCN粉末,在三氧化二铝(Al_2O_3)陶瓷衬底上获得了TiBCN薄膜。采用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜及能谱分析仪研究了TiBC |
| 《真空科学与技术学报》 2016(3).296-300 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号