| 激光频率对激光溅射法制备多晶硅薄膜压阻特性的研究 |
| 张建;花银群;曹将栋; |
| 关键词：激光技术;应力波;冲击波;应变;有限元分析 |
| 主要内容：为了研究冲击波的传播特性,采用有限元分析方法模拟不同参量激光冲击铜薄膜的过程,结合应力波理论分析了膜-基系统的动态应力波传播特性。结果表明,激光能量为30m J时,冲击波为弹性波,薄膜在单次冲击作用下,其内质点速率最大为-0.018mm/μs,3次冲击作用下,薄膜内部质点速度与残 |
| 《激光技术》 2016(4).601-605 |
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