| 激光诱导击穿光谱在薄膜损伤分析中的应用 |
| 骆旭梁;付传起;雍帆;王宙;王思源; |
| 关键词：脉冲激光溅射;激光频率;多晶硅薄膜;应变系数;晶粒尺寸 |
| 主要内容：采用脉冲激光溅射法制备硼掺杂多晶硅薄膜,研究了不同频率下多晶硅薄膜的晶粒尺寸以及压阻性能。用扫描电子显微镜表征在不同的激光频率沉积的多晶硅薄膜的表面形貌,以及悬臂梁实验测定在不同的激光频率下沉积的多晶硅薄膜的应变系数。结果表明溅射频率对激光溅射法制备的硼掺? |
| 《真空科学与技术学报》 2016(5).534-537 |
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