| 几个应用领域陶瓷膜清洗技术进展 |
| 葛锦蔓;苏俊宏;徐均琪;陈磊;吕宁;吴慎将; |
| 关键词：激光诱导击穿光谱;薄膜;激光烧蚀;激光诱导损伤;等离子体;光谱分析;温度 |
| 主要内容：提出了应用激光诱导击穿光谱技术对薄膜损伤特性进行表征的方法,研究了纳秒脉冲激光作用下薄膜损伤时的等离子体光谱特征,并应用该技术对薄膜的抗激光损伤特性进行了测量.实验测得,HfO2单层膜在78mJ的激光能量的辐照下,薄膜损伤时的等离子体温度为2 807.4K,且电子密度为7.4×10 |
| 《光子学报》 2016(4).111-116 |
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