| 尖晶石LiNi_(0.5)Mn_(1.5)O_4薄膜的制备及电化学研究进展 |
| 熊礼威;彭环洋;汪建华;崔晓慧;龚国华; |
| 关键词：纳米金刚石薄膜;MPCVD;晶粒尺寸;表面粗糙度;甲烷体积分数;表面形貌 |
| 主要内容：目的研究不同甲烷体积分数对纳米金刚石(NCD)薄膜生长的影响,实现较小晶粒尺寸、高平整度的NCD薄膜的制备。方法采用微波等离子体增强化学气相沉积的方法制备NCD薄膜,以CH4/H2为气源,在生长阶段控制其他条件不变的前提下,探讨不同甲烷体积分数对NCD晶粒尺寸、表面形貌以及表面? |
| 《表面技术》 2016(3).72-77 |
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