| 溅射功率对In_2S_3薄膜结构及其性能的影响 |
| 黄亚;徐展;邱于珍;陈传文;庄凤江;苏少坚;王可; |
| 关键词：CoFeB薄膜;溅射功率;退火处理;磁性能 |
| 主要内容：以不同功率溅射制备了CoFeB合金薄膜样品并在高真空下退火处理。发现低功率生长的薄膜始终具有磁各向同性,而高功率生长的薄膜随着退火温度的升高,由起始的单轴磁各向异性逐渐向磁各向同性转变。X射线衍射分析也印证了CoFeB薄膜随退火温度的升高,薄膜由非晶态逐渐向结晶态转变? |
| 《磁性材料及器件》 2016(5).8-11+31 |
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