| 溅射功率对Zr-B-Nb-N纳米复合膜结构和机械性能的影响 |
| 徐承章;胡跃辉;陈义川;胡克艳;范建斌;郭胜利; |
| 关键词：ZnO薄膜;聚对苯二甲酸乙二酯(PET);溅射功率;内应力 |
| 主要内容：在室温条件下,通过射频磁控溅射法在柔性衬底PET上制备ZnO:Ga(GZO)透明导电薄膜。主要研究了溅射功率对薄膜结构、内应力、光学和电学性能的影响,并对样品进行了相关测试。XRD测试表明GZO薄膜具有六角纤维矿结构的同时具有良好的C轴择优取向生长,但是衍射角出现明显偏移,表明薄 |
| 《陶瓷学报》 2016(2).152-157 |
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