| 溅射功率对Zr-B-Nb-N纳米复合膜结构和机械性能的影响 |
| 李春;董磊;余建刚;潘玉鹏;孙秀华;李德军; |
| 关键词：多靶共溅射;微观结构;机械性能;Zr-B-Nb-N纳米复合膜 |
| 主要内容：为研究不同ZrB_2溅射功率对Zr-B-Nb-N纳米复合膜结构和机械性能的影响,利用磁控多靶共溅射的方法,在不同ZrB_2溅射功率下制备基底温度分别为室温和100℃的Zr-B-Nb-N薄膜,并应用XP-2表面轮廓仪测得镀层厚度和残余应力,利用X线衍射(XRD)测得复合膜的结构和晶向,利用电子显微镜( |
| 《天津师范大学学报(自然科学版)》 2016(6).13-18 |
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