| 溅射制备CdS薄膜及其在CdTe电池中的应用 |
| 丛芳玲;赵青南;刘旭;罗乐平;顾宝宝;董玉红;赵杰; |
| 关键词：GZO薄膜;溅射时间;光电性能;射频磁控溅射 |
| 主要内容：采用射频磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了Ga_2O_3含量为3wt.%的掺镓氧化锌透明导电薄膜(GZO)。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、四探针测试仪、台阶仪、UV-Vis-NIR3600型紫外-可见分光光度计研究了溅射时间对薄膜结构、表面形貌及光电性能的影响。结果表明 |
| 《硅酸盐通报》 2016(12).3910-3914 |
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