| 金掺杂碳纳米管薄膜的制备及电学性能研究 |
| 侯爽; |
| 关键词：热处理工艺;PST;介电特性 |
| 主要内容：介电材料是一类重要的电子信息功能材料,随着电子元器件片式化、集成化的发展,介电材料纳米薄膜化已成为必然趋势。尤其是自20世纪80年代中期以来,由于薄膜制备技术的发展,在较低的衬底温度下,沉积高质量底外延或择优取向的介电薄膜成为可能,从而使介电薄膜工艺技术与半导体工? |
| 《化工设计通讯》 2016(10).51 |
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