| 宽固溶区过渡金属氮化物MN_x(M=Ti,Zr,Hf)硬质薄膜原子尺度强化机制研究 |
| 韩克昌;刘一奇;林国强;董闯;邰凯平;姜辛; |
| 关键词：过渡金属氮化物薄膜;电弧离子镀;成分;力学性能;强化机制 |
| 主要内容：采用增强磁过滤电弧离子镀技术在单晶Si基片上制备了3组不同过渡金属的氮化物薄膜MN_x(M=Ti,Zr,Hf).利用FESEM,GIXRD,XPS,Nano Indenter等方法对MNx薄膜的形貌、厚度、相结构、成分、元素的化学态、残余应力、弹性模量和硬度等进行了表征.结果表明,3组MNx薄膜均在 |
| 《金属学报》 2016(12).1601-1609 |
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