| 蓝色聚苯乙烯胶体晶体膜的制备及其呈色机理研究 |
| 王雪蓉;刘运传;孟祥艳;周燕萍;王康;王倩倩; |
| 关键词：铝镓氮外延膜;MOCVD;高分辨X射线衍射;晶格常数;应变 |
| 主要内容：采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备了不同Al组分含量的2μm厚Al_xGa_(1-x)N外延膜,通过透射电镜定性分析了外延膜中的位错和缺陷,通过高分辨X射线衍射试验对Al_xGa_(1-x)N外延膜进行ω/2θ扫描,结果显示外延膜为六方晶系纤锌矿结构,通过对对称面和非对称面的晶面间距进4 |
| 《半导体光电》 2016(4).524-527 |
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