| 类金刚石薄膜的摩擦性能及其应用 |
| 张婷;何娟;任瑛;邹文俊; |
| 关键词：DLC薄膜;残余应力;有限元分析法 |
| 主要内容：类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落。这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效。因此,缓解残余应力是类金刚石薄膜急需解决的问题和实际应用的需要。介绍了类金刚石薄膜残余应力的产生,对国内外调控残余应力的途径以及研究进 |
| 《材料导报》 2016(1).84-87+95 |
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