| 类金刚石薄膜固-液复合润滑体系真空摩擦学性能研究 |
| 熊礼威;彭环洋;张莹;汪建华;崔晓慧; |
| 关键词：类金刚石薄膜;摩擦性能;摩擦系数;固体润滑薄膜;附着力 |
| 主要内容：首先从成键结构的角度分析了DLC薄膜摩擦性能的由来,然后分别从DLC薄膜的沉积工艺(包括制备方法、气源种类和掺杂元素)、摩擦环境条件和基底材料选择等三方面入手,讨论了影响DLC薄膜摩擦性能的主要因素及其影响规律。经过总结发现,通过调节DLC薄膜的沉积工艺可以改变DLC薄膜中s |
| 《表面技术》 2016(1).80-88 |
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