| 离轴倾角磁控溅射生长氧化锌薄膜及其物性研究 |
| 张寅曼;闫婷婷;张法智; |
| 关键词：复合薄膜;工程金属;防腐蚀;类水滑石薄膜;氧化硅涂层 |
| 主要内容：采用两步法,在金属铝表面通过浸涂法制得一层致密的SiO_2涂层,再以此为基体采用原位生长法制备类水滑石(LDH)薄膜,得到LDH/SiO_2复合薄膜。采用XRD和SEM等手段对复合薄膜的晶体结构和形貌进行了表征,考察了SiO_2涂层干燥温度、LDH薄膜生长温度、生长时间等条件对LDH薄膜形貌及? |
| 《石油化工》 2016(5).521-527 |
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