| 离子交联磺化聚(酰亚胺-苯并咪唑)质子交换膜的制备及性能 |
| 秦旭磊;李雪健;刘春阳;李野; |
| 关键词：氧化锌薄膜;磁控溅射;离轴倾角溅射 |
| 主要内容：宽禁带半导体ZnO具有高激子束缚能(60Me V)、低生长温度和低成本等诸多优势,是一种理想的紫外光电材料。作为光电器件的核心部分,薄膜质量是影响器件性能和表现的关键。因此,高质量ZnO薄膜的制备具有重要研究意义。相比于分子束外延和金属有机化学气相沉积等薄膜生长方法,磁控? |
| 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2016(5).40-44+50 |
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