| 磷酸化二氧化硅填充磺化聚醚醚酮质子交换膜的制备及表征（英文） |
| 骆旭梁;王思源;王宙;雍帆;付传起; |
| 关键词：真空蒸镀;多晶硅薄膜;磷掺杂;晶化率 |
| 主要内容：采用真空蒸镀的方法制备磷掺杂多晶硅薄膜,研究了磷含量对多晶硅薄膜的表面形貌、组织结构、晶粒尺寸及晶化率的影响。结果表明:随着磷掺杂分数的增加,多晶硅薄膜的晶粒尺寸和晶化率表现出先增加后降低的趋势,当磷掺杂分数为1%时,薄膜晶粒尺寸达到最大值,为0.55μm,晶化率为96. |
| 《材料导报》 2016(2).53-55+84 |
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