| 美国麻省理工学院研究员研制新聚合物膜遇光吸热按需放热 |
| 王宇;黄美东;邬岩;金瑞;张春宇;范喜迎; |
| 关键词：电弧离子镀;(Ti;Al)N薄膜;脉冲偏压;磁过滤技术;结构与力学性能 |
| 主要内容：利用脉冲偏压磁过滤电弧离子沉积技术在不同负偏压下制备了(Ti,Al)N薄膜,通过扫描电子显微镜、XP-2台阶仪、纳米压痕仪和X射线衍射仪分别测试分析了脉冲偏压与磁过滤共同的作用对薄膜的微观结构、成份、薄膜厚度、显微硬度和晶体结构的影响规律。实验结果表明,在基体上施加脉冲 |
| 《真空》 2016(2).21-24 |
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