模外装饰鼠标外壳贴膜工艺仿真分析
 
崔永红;张振华;赵会峰;陈峰;刘晓娟;姜宏;

关键词:模拟在线CVD镀膜;锑掺杂;遮阳;低辐射
 
主要内容:利用模拟在线CVD镀膜的实验设备,通过改变原料参数而在玻璃表面制备了ATO系列薄膜样品,并通过紫外-可见-近红外分光光度计、XRD、SEM及方块电阻计等测试手段研究参数变化对膜层结构与性能的影响。结果表明:不同工艺参数下,所制备的薄膜均为四方相金红石型结构;当Sb掺杂量为3wt%
 
《硅酸盐通报》  2016(6).1856-1860
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