| 纳米金-聚二甲基硅氧烷复合薄膜的制备及研究 |
| 刘广桥;董丽梅;李菊生;吴明永;张俊彦; |
| 关键词：纳米结构;碳薄膜;摩擦学;力学 |
| 主要内容：利用单极脉冲等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积含氢碳薄膜,用高分辨透射电子显微镜和激光拉曼光谱仪研究薄膜的微观结构,用X射线光电子能谱分析薄膜的化学键状态,并用纳米压痕仪测定薄膜的硬度和弹性模量,在CSM往复式摩擦磨损试验机上考察薄膜的摩擦学性能。结? |
| 《润滑与密封》 2016(2).86-89 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号