| 偏压对磁控溅射氮铝铬薄膜摩擦性能的影响 |
| 沈渊;张宝红; |
| 关键词：磁控溅射;氮铝铬薄膜;摩擦性能 |
| 主要内容：本文采用了反应磁控溅射法在烧结Nd Fe B表面连续地沉积了氮铝铬薄膜。使用扫描电镜表征了薄膜的形貌。摩擦磨损性能在室温下采用多功能摩擦磨损试验机Rtec(MFT 5000)来表征。研究结果表明基底施加合适的负偏压会使薄膜致密、摩擦系数降低。 |
| 《河北农机》 2016(2).57-58 |
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