| 气相沉积三种方法比较 |
| 侯堃;张占文;黄勇;韦建军; |
| 关键词：惯性约束聚变;气相沉积法;聚酰亚胺;单体配比 |
| 主要内容：聚酰亚胺微球作为惯性约束聚变的重要候选靶丸之一,其力学性能和热学性能的提高对于实现聚变点火有重要意义.本文以均苯四甲酸二酐和二氨基二苯醚为原料,采用气相沉积法制备了不同单体配比的聚酰胺酸薄膜,研究了制备聚酰胺酸薄膜过程中不同单体蒸发温度对薄膜组成的影响,并对聚 |
| 《物理学报》 2016(3).193-200 |
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