产业集群决策
 
气相沉积三种方法比较
 
薄鑫涛;
关键词：气相沉积;热蒸发;薄膜材料;气化方式;离子镀膜;工艺条件;附着性;蒸发镀膜;沉积速率;压应力;
 
主要内容：~~
 
《热处理》  2016(6).57
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