| 氢气流量对类金刚石薄膜结构与性能的影响 |
| 雷洁红; |
| 关键词：铝薄膜;氢化锂薄膜;水解;磁控溅射 |
| 主要内容：运用磁控溅射方法溅射在贴有聚乙烯膜的硅片上沉积氢化锂薄膜,并在氢化锂薄膜的表面沉积不同厚度的铝膜。采用x射线衍射和红外光谱测试,分析研究了不同厚度铝膜对防止氢化锂薄膜分解所起的作用。研究结果表明,随着铝膜厚度的增加,氢化锂薄膜与水或CO_2反应变质的几率越小,铝膜? |
| 《四川理工学院学报(自然科学版)》 2016(2).42739 |
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