| 氢气在Ti原子掺杂的镁薄膜表面的解离和扩散研究 |
| 刘磊;王涛;何智兵;张玲;易勇;杜凯; |
| 关键词：反应磁控溅射;类金刚石薄膜;氢气流量;X射线光电子能谱;厚膜 |
| 主要内容：采用直流/射频耦合反应磁控溅射法在Si(100)衬底上成功制备出类金刚石(DLC)薄膜。利用表面轮廓仪、Raman光谱仪、X射线光电子能谱仪表征所制备薄膜在不同氢气流量下的沉积速率和化学结构,讨论了氢气流量对薄膜沉积速率和化学结构的影响;利用纳米压痕技术及曲率弯曲法表征薄膜的 |
| 《原子能科学技术》 2016(9).1664-1672 |
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