| 全薄膜电致变色器件glass_ITO_NiO_x_ZrO_2∶H_WO_3_ITO中单层膜的表征及器件的光学性能 |
| 高金海;张武勤;李桢;张兵临; |
| 关键词：球状微米金刚石薄膜;场致电子发射;微波等离子体化学气相沉积 |
| 主要内容：在纯平的陶瓷衬底上面,利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器,研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等,得到了该薄膜是球 |
| 《液晶与显示》 2016(9).877-881 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号