| 溶胶-凝胶法合成TiO_2薄膜的发明专利现状 |
| 刘源;冯建斌;靳朋;沈军;张志华; |
| 关键词：溶胶-凝胶法;SiO2减反薄膜;疏水性;硅烷化 |
| 主要内容：基于溶胶-凝胶过程采用2种方法制备具有疏水性能的SiO_2减反射薄膜。在室温下,以六甲基二硅氮烷作为甲基改性剂制备改性SiO_2溶胶,并以此溶胶提拉镀膜。另外,采用对标准TEOS基溶胶-凝胶SiO_2薄膜进行表面气相硅烷化后处理法,获得了疏水性能、激光损伤阈值均高于普通未经后处理? |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(S1).145-150 |
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