| 溶胶凝胶法制备多孔SiO_2减反射膜结构和性能研究 |
| 黄玉萍;阙永生;汪海风;潘崇根;吴春春; |
| 关键词：硅酸乙酯;甲基三乙氧基硅烷;多孔减反射膜;抗凝聚性能 |
| 主要内容：以TEOS(硅酸乙酯)、MTES(甲基三乙氧基硅烷)作为前驱体,MTES(甲基三乙氧基硅烷)为有机改性剂,Triton~?X-100作为模板剂,由酸催化溶胶-凝胶工艺制备多孔二氧化硅增透膜,探讨不同量的MTES对薄膜结构和性能的影响。研究发现随着MTES的增加,膜的孔径与抗冷凝性能均呈现出先增加后降 |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(S1).43084 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号