| 溶胶-凝胶法制备氧化锆薄膜的工艺与表征 |
| 查剑锐;陈婷;江伟辉;刘健敏;张筱君;胡庆; |
| 关键词：薄膜;硅酸锆;溶胶-凝胶法;pH值;抗腐蚀性 |
| 主要内容：采用酸催化溶胶-凝胶法于n型单晶硅基片表面制备出硅酸锆薄膜。运用XRD、SEM等分析测试手段对比了酸催化、回流和陈化三种不同凝胶化工艺对薄膜的相组成和显微形貌的影响。通过粘度-时间曲线观察了溶胶的稳定性并通过FT-IR研究了溶胶水解缩聚的过程。实验结果表明:相比酸催化和 |
| 《陶瓷学报》 2016(2).133-139 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号