| 溶胶-凝胶法制备氧化钨薄膜的研究 |
| 刘英;王兵;王速; |
| 关键词：WO3纳米薄膜;溶胶-凝胶法;气体敏感 |
| 主要内容：本文以钨酸盐为原料利用溶胶凝胶法,在陶瓷衬底制备WO3敏感薄膜,于500℃退火。接着对制备好的薄膜进行X射线衍射与电子显微测试,观察到薄膜表面呈较规则的纳米多孔结构。接着对NO2、H2、乙醇等气体进行敏感测试,测试证明薄膜对H2、乙醇敏感性较差,对NO2敏感性良好。 |
| 《电子测试》 2016(16).160+156 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号