| 柔性磁传感薄膜材料与器件研究成果 |
| 周丽丹;胡洁;朱刚毅;陈少飞;何依婷;江绍基; |
| 关键词：透明导电薄膜;三层结构AZO薄膜;柔性衬底;直流磁控溅射;膜系优化 |
| 主要内容：为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜。先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag层对AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的影响。通过? |
| 《光学与光电技术》 2016(6).82-86+92 |
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