| 烧结钕铁硼磁控溅射氧化物薄膜性能研究 |
| 李阳;郑文伟;刘东青;程海峰;张朝阳; |
| 关键词：薄膜;三氧化二铬;制备;应用 |
| 主要内容：三氧化二铬(Cr_2O_3)薄膜具有高熔点、高硬度、低摩擦系数和耐磨损等优点,是应用非常广泛的一种薄膜材料。介绍了Cr_2O_3薄膜常用的制备方法,包括化学气相沉积法、蒸发诱导组装法、磁控溅射法、脉冲激光沉积法、分子束外延法等,并进行了比较分析。阐述了Cr_2O_3薄膜在扩散阻挡? |
| 《化工新型材料》 2016(9).25-27 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号