| 射频磁控溅射WO_3薄膜电致变色性能研究 |
| 丁雪峰;吴耀金; |
| 关键词：烧结钕铁硼;磁控溅射;氧化物薄膜 |
| 主要内容：采用直流脉冲磁控溅射法,在烧结钕铁硼磁体表面沉积了厚度约为700nm的氧化锆、氧化铬、氧化铝、氧化钛薄膜。使用扫描电镜、纳米压痕仪分别表征了薄膜的形貌、硬度和弹性模量。采用电化学工作站测试了薄膜的动电位极化曲线,考查了其防腐蚀性能。研究结果表明在施加离子束辅助条 |
| 《河北农机》 2016(2).66-67 |
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