| 湿敏手性纳米纤维素薄膜的自组装制备及表征 |
| 乌仁图雅;周炳卿;高爱明;部芯芯;丁德松; |
| 关键词：富硅-氮化硅薄膜;等离子增强化学气相沉积;射频功率;沉积速率 |
| 主要内容：采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH_4、NH_3和N_2为反应气源,通过改变射频功率制备富硅-氮化硅薄膜材料。利用傅里叶变换红外吸收光谱,紫外-可见光透射光谱,扫描电镜等对薄膜材料结构与性质进行表征。实验表明,随着射频功率的逐渐增加,薄膜光学带隙缓慢减小、有序度增加,薄 |
| 《人工晶体学报》 2016(9).2322-2325 |
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