| 疏水SiO_2宽频增透膜的制备与研究 |
| 惠迎雪;王钊;贺爱峰;徐均琪; |
| 关键词：反应磁控溅射;氧化钛薄膜;折射率;纳米硬度 |
| 主要内容：目的通过对比不同溅射功率和氧气分压下氧化钛薄膜性能的变化规律,分析其力学性能和光学性能的关系。方法在室温条件下,采用直流反应磁控溅射技术在K9玻璃基底上沉积TiO_2薄膜,通过紫外可见红外分光光度计和椭偏仪对薄膜的光学特性进行分析,通过微纳米压痕技术对薄膜的力学性能 |
| 《表面技术》 2016(11).167-172 |
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