| 双靶磁控溅射透明导电氧化铟锡锆薄膜及其性能 |
| 檀满林;张礼杰;王晓伟;马清;符冬菊;张维丽;李冬霜;陈建军 |
| 关键词：增透膜;疏水型;耐环境;宽光谱 |
| 主要内容：利用TFCcal设计软件构建膜系结构,采用溶胶–凝胶工艺和提拉法在超白玻璃上制备出厚度精确可控的宽光谱、高增透型SiO_2/TiO_2/SiO_2-TiO_2减反膜,同时结合甲基三乙氧基硅烷(MTES)改性碱催化的SiO_2溶胶,通过提拉法一次制备出高透过率疏水型薄膜。研究表明,高增透型三层宽光谱? |
| 《无机材料学报》 2016(4).365-371 |
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