| 双靶磁控溅射透明导电氧化铟锡锆薄膜及其性能 |
| 张波;邵汉良;王良; |
| 关键词：氧化铟锡;薄膜;磁控溅射;锆;掺杂;稳定性;耐蚀性 |
| 主要内容：利用ITO(InSnO)靶和金属Zr靶,采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ITO和ITZO(InSnZrO)薄膜。高价金属元素Zr的掺杂导致了薄膜向(400)晶面择优取向转变,促使ITO薄膜具有更好的晶化程度、较低的表面粗糙度和更好的光电性能。根据处于特定介质环境中ITO和ITZO薄膜的相对电阻变化( |
| 《电镀与涂饰》 2016(24).1295-1300 |
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