| 双喷头静电纺丝法制备PU增强增韧PVA复合膜 |
| 王贺权;巴芳;李海峰;巴德纯; |
| 关键词：磁控溅射;Nb掺杂TiO2薄膜;双层膜;电阻率 |
| 主要内容：采用射频磁控溅射的方法通过改变氧分压和基体温度在非晶超白玻璃上沉积了一系列Nb掺杂Ti O_2薄膜,富氧状态下的薄膜为锐钛矿相且绝缘,少氧状态下的薄膜为金红石相但电阻率太大。采用双层膜的结构,首先将在非晶基体上沉积一系列在富氧状态下得到的的锐钛矿相Nb掺杂Ti O_2薄膜为 |
| 《真空科学与技术学报》 2016(5).499-503 |
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