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双源电子束设备制备IPTO透明导电薄膜

田苗苗;房宝泉;

关键词：钛酸镨;氧化铟;透明导电薄膜;双源电子束

主要内容：本文采用双源电子束设备制备了一种新型的IPTO透明导电薄膜,通过开尔文探针法测试,其功函数为5.14e V。新型IPTO薄膜的可见光透过率及导电性与商业化的ITO薄膜可媲美。

《科技经济导刊》 2016(28).67

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