| 水对常压CVD法制备SnO_2_F透明导电薄膜雾度的影响 |
| 秦秀娟;王晓娟;张丽茜;王丽欣;柳林杰; |
| 关键词：气溶胶辅助化学气相沉积法;掺杂;AZO薄膜 |
| 主要内容：采用双源气溶胶辅助化学气相沉积法制备了Al掺杂Zn O薄膜。研究了不同的乙醇和甲醇溶液比例对AZO薄膜各种性能的影响。通过紫外-可见光吸收光谱、原子力显微镜、扫描电子显微镜和X射线衍射对薄膜性能进行表征。结果表明通过使用双源AACVD法可以获得具有明显(002)择优取向AZO薄? |
| 《燕山大学学报》 2016(2).158-164 |
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