| 四极静电聚焦透镜在离子束溅射镀膜中的应用 |
| 曾亮维;吴亦冬;黄佐华; |
| 关键词：斯托克斯参数;椭偏仪;条件数;薄膜测量 |
| 主要内容：斯托克斯椭偏仪一般使用定标的方法来测量其仪器矩阵,其仪器矩阵的优劣直接影响了被测光线斯托克斯参量的精确度与稳定度,从而影响了被测薄膜的厚度、折射率及消光系数等光学参数的精确度与稳定度。文章以椭偏参数总偏差为评价函数,分析了条件数大小与斯托克斯椭偏仪仪器矩阵的 |
| 《信息通信》 2016(4).30-31 |
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