| 四氯化钛处理对染料敏化太阳能电池性能的影响及光电致变色器件的构建 |
| 孙嵩泉;葛怀庆;王杨阳;郭祖华;练菊;鞠若麟;朱向炜; |
| 关键词：离子束;溅射;静电聚焦透镜;均匀性 |
| 主要内容：离子束溅射镀膜过程中,从离子源出射的离子束具有较强的发散性。对于靶源距较大的离子束溅射应用,发散的离子束不仅会溅射其他结构表面而造成微量元素交叉污染,而且镀膜均匀性也会有影响。通过在离子源前端加装一套四极静电聚焦透镜,对出射离子束的发散性进行约束,不仅避免了交 |
| 《真空》 2016(5).33-36 |
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