| 太阳能光谱选择性吸收薄膜高温性能衰减分析 |
| 李海兵;徐勇军;蔡其文;涂伟萍;廖俊旭; |
| 关键词：光学薄膜;物理气相沉积;磁过滤阴极真空弧沉积;磁控溅射;高反射膜 |
| 主要内容：采用磁过滤阴极真空弧沉积(FCVAD)与磁控溅射(MS)两种技术在玻璃上制备厚度分别为75 nm和165 nm的Glass/Al高反射薄膜,利用Lambda 950分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、附着力测试仪、摩擦试验机和加速老化试验箱分别表征薄膜的反射率、表面形貌、粗糙度、附着力、耐 |
| 《中国表面工程》 2016(3).34-40 |
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