| 钛掺杂对低辐射银膜的团聚抑制作用 |
| 孙瑶;汪洪; |
| 关键词：低辐射;银膜;团聚;热稳定性;掺杂 |
| 主要内容：以金属Ag作为红外反射功能层的低辐射多层膜受热易产生团聚,严重损害导电性与低辐射性能。本文提出在金属Ag膜层中掺杂Ti元素,研究Ti掺杂对Ag基低辐射多层膜的团聚抑制作用以及对热处理后性能的影响。采用磁控溅射制备SiN_x/Ag/Si Nx与Si Nx/Ag-Ti(1.1 at%)/Si Nx多层膜 |
| 《材料热处理学报》 2016(8).196-202 |
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